成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
產(chǎn)品型號: CS4800
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
搭載日立***技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測量，提供高解析度的SEM成像，更高的測量精度和快速自動化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過簡單的操作處理自動搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計劃支持對應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM）
的詳細(xì)介紹
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考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
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通過**設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗，搭載了高精度測量技術(shù)和*新的計量應(yīng)用。
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通過光學(xué)軸自動化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
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更高的圖像處理技術(shù)，實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
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新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
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*1
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GUI (Graphic User Interface):使用計算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。
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測量精度
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1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
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晶圓尺寸
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直徑 100mm, 150mm, 200mm
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自動裝片裝置
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2個
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設(shè)備尺寸（主體）
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1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米
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