成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
產(chǎn)品型號(hào): CG5000
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
CG5000革新了運(yùn)送類系統(tǒng)，并通過對(duì)電子光學(xué)技術(shù)及圖像處理技術(shù)的改良，實(shí)現(xiàn)了有史以來 高（注1）的分辨率，處理能力，測(cè)長(zhǎng)再現(xiàn)性。并且該系統(tǒng)還強(qiáng)化了自動(dòng)校準(zhǔn)功能，提供了長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行率。
另外，CG5000采用新測(cè)長(zhǎng)技術(shù)及應(yīng)用，可應(yīng)用于使用新流程/新材料時(shí)所面臨的測(cè)長(zhǎng)課題，也可**適用于1Xnm級(jí)設(shè)備的開發(fā)。
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
的詳細(xì)介紹
高生產(chǎn)性
此裝置革新了運(yùn)送機(jī)器的結(jié)構(gòu)構(gòu)成（包括裝、卸部件以及平臺(tái)速度和停止精度的提高），實(shí)現(xiàn)AF的高速化，通過可變像素實(shí)現(xiàn)測(cè)長(zhǎng)區(qū)域的 優(yōu)化，從而縮短MAM時(shí)間，與以往相比，提高了約40%的處理能力。
高分辨率
此裝置通過改良電子光學(xué)技術(shù)及圖像處理技術(shù)（降噪，改善邊緣銳度，圖像內(nèi)部暗部強(qiáng)調(diào)），改善了Image Sharpness。
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
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再現(xiàn)性
此裝置通過電子光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定化，以及增加計(jì)量類型，可以實(shí)現(xiàn)測(cè)長(zhǎng)區(qū)域的可設(shè)定性的可變像素，達(dá)到較高的再現(xiàn)性。
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匹配
此裝置使用平臺(tái)上的專用樣品，通過開發(fā)的多種自動(dòng)校準(zhǔn)功能，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期穩(wěn)定的匹配性能。
特別是顯著改善了CG5000同一型號(hào)間的機(jī)型差異，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線管理的穩(wěn)定化。
