成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科濺射設(shè)備
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號: VTR-151M/SRF
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
配有RF電源的小型高頻濺射設(shè)備。
可以實(shí)現(xiàn)金屬，半導(dǎo)體，絕緣體成膜，因此非常適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科濺射設(shè)備
的詳細(xì)介紹
濺射設(shè)備
濺射設(shè)備
VTR-151M/SRF
ULVAC
配有RF電源的小型高頻濺射設(shè)備。
可以實(shí)現(xiàn)金屬，半導(dǎo)體，絕緣體成膜，因此非常適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
特點(diǎn)
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絕緣，金屬，半導(dǎo)體材料的濺射設(shè)備。
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主泵使用分子泵。
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可以在2inch×3陰極上*多3層，多層成膜。
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通過磁控濺射，濺射速度可達(dá)到30nm/min（SiO2）。
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搭載了基板加熱機(jī)構(gòu)（350℃）。
規(guī)格
效用
尺寸圖
真空槽內(nèi)部構(gòu)成
基本構(gòu)成
支架圖
[標(biāo)準(zhǔn)]
[特型例]
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。
可選配件
