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產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置
產(chǎn)品型號: VTR-060M/ERH
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

將架臺上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。 適用于清潔排氣的基礎研究開發(fā)等實驗用途。


成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置  的詳細介紹

小型蒸發(fā)設備

DEPOX 系列

VTR-060M/ERH

ULVAC

將架臺上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。
適用于清潔排氣的基礎研究開發(fā)等實驗用途。

特點

  • 臺式,小型尺寸可以節(jié)省空間。
  • 配備渦輪分子泵。
  • 只需操作開關,即可實現(xiàn)高真空排氣。
  • 具有可擴展性,可進行多層鍍膜,基板旋轉。
  • 適合低熔點金屬鍍膜。

規(guī)格

型式 VTR-060M/ERH
真空性能 極限壓力 10-４臺（真空層內無負荷清潔時） 
1.5×10-３Pa（選項規(guī)格）
排氣時間 4.0×10-３Pa/20min（真空槽內無負荷清潔時）
真空槽 真空槽 圓柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm)
基板 7端口（底面）
基板尺寸?*大尺寸 □25mm ? □50mm（Max）
電源系統(tǒng) 蒸發(fā)電極構成 1點式
蒸發(fā)電源?數(shù)量 SEREM/PSE-150C?1式
0～10V 80A (MAX)
排氣系統(tǒng) 主泵 分子泵(空冷)　60Ｌ/sec
補助泵 油回轉泵 20L/min
油霧捕集器 OMT-050A
操作系統(tǒng) 主閥 選項（蝶閥）
補助閥 選項（三通閥）
自動泄露閥 選項（電磁閥）
真空槽排氣閥 選項（泄露口）
操作 手動
控制系統(tǒng) 真空計 選項　(ISG1)
膜厚計 選項 (CRTM-6000G)
設置 *大尺寸　　本體 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H)
電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量　　　　本體 50Kg
電源 24Kg

效用

型式 VTR-060M/ERH
所要時間 本體 100Ｖ　單相　50/60Hz 0.6kVA
電源 100Ｖ　單相　50/60Hz 0.8kVA
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭）4m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m

※請準備2個系統(tǒng)的接地插座。

尺寸圖

VTR-060M/ERH

zu_vtr060m_erh.gif

蒸發(fā)電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內部構成

基本構成

zu_vtr060m_erh_feed.gif

可選配件

zu_vtr060m_erh_op.gif

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