成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號: VTS-350M/ERH
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
的詳細(xì)介紹
小型蒸發(fā)設(shè)備
DEPOX 系列
VTS-350M/ERH
ULVAC KIKO
將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。
特點
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玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
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可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
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通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（*大4層）。
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蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
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帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的**性。
規(guī)格
※1：液體氣體捕集器為可選部件。
※2：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
效用
尺寸圖
VTS-350M/ERH
蒸發(fā)電源 SEREM
真空槽內(nèi)部構(gòu)成
基本構(gòu)成
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。
可選配件
