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產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
產(chǎn)品型號: VWR-400M/ERH
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。 DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。 易于操作適用于基礎研究開發(fā)等實驗用途。


成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備  的詳細介紹

小型蒸發(fā)設備

DEPOX 系列

VWR-400M/ERH

ULVAC

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)配置的4種類型。
易于操作適用于基礎研究開發(fā)等實驗用途。

特點

  • 玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
  • 通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)（*大４層）。
  • 蒸發(fā)設備帶有腳輪，移動更為容易。
  • 帶有調節(jié)器，可確保設置的**性。

規(guī)格

型式 VWR-400M/ERH
真空性能 極限壓力 4.0×10-４Pa
3.0×10-４Pa（液體氮氣使用時）
排氣時間 4.0×10-３Pa/10min
3.0×10-３Pa/10min（液體氮氣使用時）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內徑Φ300mm×高300mm)
饋通圈 12端口(側面8/底面4)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □50mm ? □140mm（Max）
電源系統(tǒng) 蒸發(fā)電極構成 1點式
蒸發(fā)電源?數(shù)量 SEREM　PSE-150C　1 式
0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng) 主泵 油擴散泵（水冷）（400L/sec)
液體氮氣捕集器 有
補助泵 油回轉泵（200L/min）
油霧捕集器 內置捕集器 OMI-200
操作系統(tǒng) 主閥 蝶閥
補助閥 三通閥
自動泄露閥 選項
操作 手動
控制系統(tǒng) 皮拉尼真空計 GP-1G
電離真空計 GI-M2
設置 *大尺寸　　本體 730mm（W）×709mm（D）×1161mm（H）
電源 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
質量　　　　本體 148kｇ
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

效用

型式 VWR-400M/ERH
所要時間 本體 100V 單相 50/60Hz 1.6kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子） 4m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m
所要水量 2.0 L/min （水溫20～25℃、水圧 200kPa（表壓））
組合連接 （ソケット） Rp1/4 （帶有可觸摸配件）
推薦軟管※ 滌綸軟管（內徑9mm－外徑15mm）

※冷卻水管，請客戶自行準備。

尺寸圖

VWR-400M/ERH

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蒸發(fā)電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

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真空槽內部構成

基本構成

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※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進行定制。

可選配件

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