成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
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產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
產品型號: VPC-1100
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設備。
適用于大型基板的基礎研究開發(fā)等實驗用途。
成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
的詳細介紹
小型蒸發(fā)設備
VPC 系列
VPC-1100
ULVAC
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設備。
適用于大型基板的基礎研究開發(fā)等實驗用途。
特點
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玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
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可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
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通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
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更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點的材料。
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蒸發(fā)設備帶有腳輪，移動更為容易。
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帶有調節(jié)器，可確保設置的**性。
規(guī)格
※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
※2：準備了分子泵（TMP）的規(guī)格
效用
※冷卻水配管，請客戶自行準備。
尺寸圖
VPC-1100
蒸發(fā)電源 SEREM
真空槽內部構成
基本構成
※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進行定制。
可選配件
