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產品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
產品型號: VPC-260F
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

將管架上的主泵，輔助泵，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等等必要的部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。 適用于小基板尺寸的基礎研究開發(fā)等實驗用途。


成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備  的詳細介紹

小型蒸發(fā)設備

VPC 系列

VPC-260F

ULVAC

將管架上的主泵，輔助泵，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等等必要的部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設備。
適用于小基板尺寸的基礎研究開發(fā)等實驗用途。

特點

  • 玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
  • 通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
  • 蒸發(fā)設備帶有腳輪，移動更為容易。

規(guī)格

型式 VPC-260F
真空性能 極限壓力 1.3×10-３Pa 
6.6×10-４Pa（液體氮氣使用時）
排氣時間 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液體氮氣使用時）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內徑Φ300mm×高300mm)
饋通圈 8端口(側面8)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □50mm ? □140mm（Max）
電源系統(tǒng) 蒸發(fā)電極構成 1點式
蒸發(fā)電源?數(shù)量 SEREM　PSE-150C　1 式
0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng) 主泵 油擴散泵（空冷）　200L/sec
液體氮氣捕集器 有
補助泵 油回轉泵　100L/min
油霧捕集器 選項
操作系統(tǒng) 主閥 插板閥
補助閥 三通閥
自動泄露閥 選項
操作 手動
控制系統(tǒng) 皮拉尼真空計 選項
電離真空計 選項
設置 *大尺寸　　本體 530mm（W）×550mm（D）×1135mm（H）
電源 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
質量　　　　本體 75kｇ
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

效用

型式 VPC-250F
所要時間 本體 100V 單相 50/60Hz 1.35kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

VPC-260F

zu_vpc260f.gif

蒸發(fā)電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內部構成

基本構成

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可選配件

zu_vpc260f_op.gif

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