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產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸著裝置

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產(chǎn)品名稱(chēng): 成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸著裝置
產(chǎn)品型號(hào): VPC-061A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

將管架上的主泵?輔助泵?閥門(mén)配管?電氣系統(tǒng)?圧力測(cè)量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。 適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。


成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸著裝置  的詳細(xì)介紹

小型蒸發(fā)設(shè)備

VPC 系列

VPC-061A

ULVAC

將管架上的主泵?輔助泵?閥門(mén)配管?電氣系統(tǒng)?圧力測(cè)量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

  • 桌面緊湊型，可節(jié)省安裝空間。
  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開(kāi)真空槽。
  • 停電時(shí)會(huì)自動(dòng)開(kāi)啟泄露閥，以保護(hù)主泵。

規(guī)格

型式 VPC-061A
真空性能 極限壓力 1.3×10-３Pa 
6.6×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
排氣時(shí)間 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ150mm×高200mm)
饋通圈 3端口(底面3)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □25mm ? □50mm（Max）
電源系統(tǒng) 蒸發(fā)電極構(gòu)成 1點(diǎn)式
蒸發(fā)電源?數(shù)量 SEREM PSE-150C?1 式 
0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng) 主泵 油擴(kuò)散泵（空冷）　50L/sec
液體氮?dú)獠都?/span> 有
補(bǔ)助泵 油回轉(zhuǎn)泵 20L/min
油霧捕集器 選項(xiàng)
操作系統(tǒng) 主閥 蝶閥
補(bǔ)助閥 三通閥e
自動(dòng)泄露閥 有
操作 手動(dòng)
控制系統(tǒng) 皮拉尼真空計(jì) 選項(xiàng)
電離真空計(jì) 選項(xiàng)
設(shè)置 *大尺寸　本體 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質(zhì)量　　　　本體 32kg
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。

效用

型式 VPC-061
所要時(shí)間 本體 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

zu_vpc061a.gif

蒸發(fā)電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內(nèi)部構(gòu)成

基本構(gòu)成

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可選配件

zu_vpc061a_op.gif
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