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產(chǎn)品名稱: 四川供應(yīng)日本CKD喜開理流量傳感器
產(chǎn)品型號(hào): FSM
產(chǎn)品展商: 日本CKD喜開理
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
氣體用超小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)是壓縮空氣、氮?dú)庥贸⌒土髁總鞲衅?。輕量、高速響應(yīng)，zui適合電子部件等的吸附確認(rèn)。
適用行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（后工序）
四川供應(yīng)日本CKD喜開理流量傳感器
的詳細(xì)介紹
【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實(shí)現(xiàn)了超小型化。
實(shí)現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、zui薄8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。
【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。
【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實(shí)現(xiàn)了以往無法實(shí)現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計(jì)
【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進(jìn)行雙方向測量，zui適合吸附確認(rèn)用途。
