日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
產(chǎn)品型號: UNIHARD
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
日本USHIO牛尾固化機紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置「UNIHARD」四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
的詳細介紹
紫外線照射裝置，在LSI制造生產(chǎn)聯(lián)機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。
配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應(yīng)用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。
特征
?高照度、均一度照射
初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。
?采用依據(jù)SEMI規(guī)定之裝載接口的EFEM（φ12寸裝置）
φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據(jù)SEMI) 的EFEM、
以及搬運系統(tǒng) 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。
?采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準（φ12寸裝置）
φ12寸用裝置采用Windows NT PC，達到極 佳的操作性。亦符合GEM300規(guī)定。
?燈管裝置更換容易
燈管更換時無須調(diào)整，并降低裝置的停機時間。
?配備照度一定方式與積累計算曝光方式（φ12寸裝置：選購配備）
使用照度一定方式、并積累計算曝光方式、達到制程的穩(wěn)定化與一致化。
?豐富的產(chǎn)品系列
對應(yīng)φ6寸用裝置（可與φ5寸以下共用）、φ8寸用裝置（ 可與φ6寸以下共用）、
以及φ12寸專用裝置等所有工具匣。此外，亦備有準分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。
2Finger搬運機器人
燈光裝置
主要用途
?提高乾蝕時的耐電漿性
?離子注入時的阻劑脫氣及燒入
?電荷消除與消除疲乏
?Low-k Cure
?薄膜磁頭之層間絕緣膜形成
?化合物半導(dǎo)體的Lift-Off工程
?表面改質(zhì)
?CCD與CMOS影像儀的去色(bleaching)等
